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    地 址:中国福建省邵武市金塘工业园区金岭大道6号

    有机市场部
    电话:0599-6200166
    传真:0599-6616888

    无机国际贸易部
    电话:0599-6655932/6654968
    传真:0599-6654591
    无机国内贸易部
    电话:0599-6654866/6654968
    传真:0599-6655755
    无机高纯化学品部
    电话:0599-6655536/6654968
    传真:0599-6655755


    产品展示

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    质量标准:

    分子式:CF4                             分子量:88.005

    项目

    指标

    四氟化碳纯度(CF4) 10-2(v/v)  ≥

    99.999

    氧气(O2) 10-6(v/v) ≤           

    1

    氮气(N2) 10-6(v/v) ≤                                         

    4

    水分(H2O) 10-6(v/v) ≤                                           

    1

    二氧化碳(CO2) 10-6(v/v) ≤      

    1

    一氧化碳(CO) 10-6(v/v) ≤   

    0.3

    酸度(以HF计) 10-6(m/m) ≤

    0.1

    其他氟碳化合物 10-6(v/v) ≤

    1

    六氟化硫(SF6) 10-6(v/v) ≤

    1

    杂质总和 10-6(v/v) ≤                   

    10

    性状:
    四氟化碳相对分子量88.00。在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,是最稳定的有机化合物之一,不易溶于水。熔点(101.325kPa):-186.8℃;沸点(101.325kPa):-128.0℃;液体密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m³;气体密度(0℃,101.325kPa):3.946kg/m³。
    用途:
    四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻;在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强,四氟化碳还可以用于金属冶炼和塑料行业等。四氟化碳的溶氧性很好,被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。
    贮存:
    应存放于阴凉干燥、通风良好的场所。
    运输:
    运输时,四氟化碳气瓶上应附有GB190中制定的标志。
    包装:
    四氟化碳可用无缝钢瓶或铝合金容器装运,通常采用47L、40L、10L、8L等无缝钢瓶充装,充装压力12.5MPa,也可根据客户需要选用各种容器的气瓶。

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